反應燒結碳化硅懸臂漿，是半導體晶圓裝載系統的關鍵部件。光伏新能源行業用的碳化硅槳，主要規格2378毫米，2550毫米，2660毫米等，應用在擴散爐中對多晶硅硅片或單晶硅硅片的（擴散）涂層過程中，對硅片在高溫環境中（1000---1300℃）的承載輸送作用。
產品特點：
1、在高溫環境下不變形，晶片裝載力大；
2、耐極冷急熱，使用壽命長；
3、懸臂漿熱膨脹系數極小，極大地延長了維護清洗的周期。
主要用途：懸臂漿性能穩定，在高溫環境下不變形，晶圓裝載力大，適用于機器人自動裝載和搬運系統。由于懸臂漿截面穩定不變形，使得利用現有的爐管制備更大規格晶圓成為可能。
具體規格尺寸可按照客戶要求制作
